本实用新型涉及用于制造热解氮化硼制品的化学气相沉积感应炉，属化学气相沉积技术领域。其特征是炉体内环绕感应线圈的石墨套筒发热体内中下部，设置的模具基体立于旋转底座上。本实用新型给出的是一种中频感应炉，基体在感应线圈中，本身在磁场作用下，产生涡流，发出热量，外加同心圈发热体，对它辐射热，所以升温速度快，基体受热较均匀。

1．一种制备热解氮化碉坩蛹制品的中频感应炉。具有炉体、加热体、进气口、出气口、模具，其特征是炉体(2)内环绕感应线圈(4)的石墨套筒发热体(5)内中下部，设置的模具基体(3)立于旋转底座上。

2．按照权利要求1所述的中频感应炉，其特征是立亍旋转底座上的坩埚基体也可悬吊在炉体内反应室中央。

3．按照权利要求l所述的中频感应炉，其特征是进气方式可呆用同心圆顶部进气或同心圆底部进气。

制备热解氮化硼坩埚制品的中频感应炉

本实用新型涉及用于制造热解氮化硼制品的化学气相沉积感应炉，属化学气相沉积技术领域。

目前，生产热解氮化硼(PBN)坩埚制品，通常是采用碳管炉，如专利号92235 683,1所公开的技术方案，它是通过外部辐射加热使基体不断地被加热型所需温度，而后通气沉积。存在的缺点是：加热速度慢，其制出的坩埚制品使用寿命短，壁厚的均匀度差。

本实用新型的目的是针对上述存在的缺点，提供一种加热速度快的中频感应炉，嗣其可制出壁厚均匀度好，使用寿命长的热解氮化硼制品。

本实用新型是由炉体、加热体、迸气口、出气口、模具等构成，进气口在炉体顶部或底部，出气口在炉体的底部或顶部其特征是炉体(2)内环绕感应线圈(4)的石墨套筒发热体(5)内中下部，设置的模具基体(3)立于旋转底座上，中频感应妒的基体在升温过程中获得两方面的能量来源，1．是基体本身基体采用石墨材料，石墨在磁场作用下发出热量：2是周围发热体的辐射加热，所以升温速度快，同时有磁扬的作用，对生产出的PBN坩埚质量有较大的提高，一般用碳管炉制备的坩埚没有用感应炉制备的坩埚使用寿命长，同时敲出击时有金属的回声（指用感应炉制备的坩埚），用碳管炉制备的坩蜗敲击时没有金属回声。它所采用的是中频感应电源，作为加热电源。立子旋转底座上的坩埚基体也可悬吊在炉体内反应室中央。进气方式可采用同心圆顶部进气或同心圆底部进气。

本实用新型给出的是一种中频感应炉，基体在感应线圈中，本身在磁场作用下，产生涡流，发出热量，外加同心圆发热体，对它辐射热，所以升温速度侠，基体受热较均匀。因此用此感应妒制备的P BN坩埚，用金属捧敲击时会有清脆的金属回响，而用碳管炉制备的坩埚没有这种声音。实践证明，用此种感应炉制备的坩埚，使用寿命长，壁厚均匀不易损坏。

附图为实用新型的结构示意图。实验时，先用机械泵将炉内抽至1～2mmHg，当炉温达1900℃通入混合气体．从图中可见，同心圆进气口(1)位于炉管中央，模具基体(3)正对避气口(1)，避气口(1)与出气口(6)正对。

实施例：

    1．将己制备好的石墨模具，立于感应炉的旋转支架上，温度19000c，炉内压力0.2mmHg道入N2-6立升／分，NH8-LO立升／分， BCL8-0.6立升／分，经18小时后，在模具表面上形成厚度0.8～1. Omm厚的热解氮化硼薄层，待炉冷至室温后，取出脱模，即获得热解氮化硼坩埚。

2．将制备好的石墨坩埚，口朝上直立于旋转台上，炉温在1800℃，0．2mmHg，将n2-8立升／分，NH3-0.8升／分，BC-0.5／分，L8,通入炉内保温2小时，在石墨坩埚表面生成一层PBN薄层，厚度O,1mm左右，待炉冷至室温取出，即可制得在石墨坩埚表面涂层有热解氮化硼的热解氮化硼涂层坩埚。

3．将制备好的石墨板模具，平放於旋转台上，将炉温升至1950℃，炉内压力0.25mmHg通入N2-6立升／分，NH30.8升／分，BCL0.5立升／分，保温20小时，可制得厚度3mm左右的PBN厚层，炉冷后取出，脱模，即获得PBN板材。

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