常见故障

可能原因

排除方法

备注

高真空度抽不上但不漏气（指真空表长时间数值不动）。

1．高真空规管老化

2．扩散泵油老化

3．扩散泵加热丝断了（无扩散泵电流）

1．更换真空规管

2．更换扩散泵油

3．更换加热丝

加注扩散泵油的牌号及数量见扩散泵说明书

低真空抽不上但不漏气（指真空表长时间数值不动）。

低真空规管工作电流不正确。

机械泵油老化

调整真空规管工作电流。

更换机械泵油

热电偶自动进出失灵，报警灯报警

内、外限位失灵。

进出电机不转。

调整或更换内外限位装置。

测试电机是否己坏，如坏更换同一型号的电机。

电炉加温前应观察内限位指示灯是否亮，应亮着。

使用一段时间后温度升不上去

加热器电阻值变大。

根据仪表说明书调大仪表输出功率。

严重老化只能更换新的加热器

控制柜面板上的过流指示灯亮着并报警。

加热器有短路

1．打开炉盖观察加热器是否有短路，排除故障。

超温报警灯亮着并报警

炉温超温

仪表设定有误

按说明书重设超温报警参数

断水指示灯亮着并报警

没打开水阀

水压过低

打开水阀

调高水压