真空高压气氛烧结炉组成与结构

1）真空高压气氛烧结炉真空箱体：

a）双层水冷结构、材质为压力容器用16Mn，内部按高真空要求抛光；卧式结构，炉体为圆柱形，后部为封头，炉体前部开门，炉体与炉门为高颈、高压法兰连接，开合方式为错齿结构，手动操作。异型圈密封，即能封负压，也能封正压；真空口位于炉体后部，采用高压法兰与真空机组连接；

b）电极引入装置位于炉体的六面，共计三组。材质为紫铜。炉内与炉外采用刚玉管绝缘，采用耐高压结构与炉体连接；

c）炉体上装有充放气装置，充气口位于炉体的下方，放气口位于炉体的上方；充放气口与炉体连接为高压、高颈法兰、高压阀门；

d）炉体上设有两个测温口，采用耐高压结构与炉体连接，其中一件为低温B型热电偶，用于1100度以下测量，另外一件为红外测温仪口，用于1100度至2000度测量。

e）炉体上另设有一个备用测温口，用于三点均温性检测。（K型热电偶800度时测量）

f）另设一个测温口，位于炉体上方，可放置WRe热电偶，用来比校温度；

g）安全装置：共计两种：一种安全阀（两个），另一种爆破片。起跳压力按照相关规定

2）加热室：

均温区尺寸：300×300×300mm；

加热元件：石墨板；

隔热材料：由内至外依次是石墨硬毡，软碳毡，硅酸铝保温毡，不锈钢壳体；

加热元件结构形式：四周分布回字形板状加热器。

3）真空高压气氛烧结炉真空系统：

真空系统为KT-400扩散泵、ZJP300罗茨泵、2X70旋片泵组成三级真空机组。由泵、气动高压球阀、电磁带充气阀、波纹管、管路等整体组成机组。各阀门的开启及系统的操作均可实现自动化。

为了提高自动化程度，真空管路上常操作的阀门均采用气动真空阀；

所有真空管道内表面均进行酸洗镀锌处理，减少材料放气率，提高系统真空性能；

4）充放气系统：

本高压气氛烧结炉配置有氮气\氩气充入装置； 

可实现两种气压烧结，一种定压烧结，当炉内达到稳定状态时，由压力传感器控制进气阀与放气阀，当达到设定压力下限时，关闭进气阀，当达到设定压力上限时，打开放气阀；另一种动态平衡，即进气阀始终处于打开状态，定量冲入气体，排气阀由压力传感器控制开关，保证炉内压力恒定；

同时配置有安全防爆阀，当过压时，可自动泄压，确保系统运行安全。

进气口留有质量流量计接口，用户可根据工艺条件自行配备及安装。

5）冷却水系统

根据真空炉各部分对冷却水的要求，制作积水排、由阀门、管路等组成；对炉体、炉盖、密封圈、真空泵及水冷电极进行冷却；其中总进水管路安装水压传感器；

冷却水汇流水箱所有冷却水阀门均采用艾美柯品牌，汇流水箱上有一套备用进出水管（带有进水阀门）。

6）真空高压气氛烧结炉测控系统

测控系统采用了高性能的控制测量仪表，如温度控制采用了日本岛电公司生产的高性能的0.3级可编程PID调节器，即FP93温控仪表,它功能完善,性能优良,可带4组曲线Z大40段可编程功能；同时采用复合真空计、气压仪表分别对真空度、气压进行监测；通过触摸屏、PLC来集中对这些仪表进行控制，Z终实现对温度、真空度、气压等参数的监控及加热、真空泵等机械电气设备动作的控制。这些仪表及其他控制元器件，集中安装于电控柜中