2015新型真空气氛烧结炉电气联锁新原理

1. 真空气氛烧结炉机械泵：水压正常。

2. 真空气氛烧结炉罗茨泵：机械泵打开。

3. 真空气氛烧结炉扩散泵：机械泵打开。

4. 真空气氛烧结炉加热电源：水压正常、高低温度正常（EV3灯不亮）。

5. 充气阀1：气压表无报警、炉门处于锁紧位置、电接点压力表不处于上限位。

6. 充气阀2：气压表无报警、炉门处于锁紧位置、电接点压力表不处于上限位。

7. 主阀：电接点压力表低于下限位。

8. 粗抽阀：电接点压力表低于下限位。

9. 前级阀：无。

10. 热偶拖动：低温低于1300度、高温低于1400度。

11. 放气阀1：气压高于设定值时自动打开、电接点压力表上限时自动打开。

12. 放气阀2：气压高于设定值时自动打开、电接点压力表上限时自动打开。

13. 真空气氛烧结炉炉门松开：气压表低于50Kpa、电接点压力表低于下限。